제품소개
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분류 표준물질 용도 모델명 적용가능 측정/분석 기술 측정 단위 교정 고배율단위교정 HMC-100 SEM, AFM 나노 단차 교정 NSC-100 AFM NSC-200 장비 특성 평가 원자현미경 탐침 특성 평가 ATC-100 AFM ATC-200 ATC-300 ATC-400 주사탐침현미경 특성 평가 EFM-100 SCM, EFM, SSRM 등 SCM-100 SSRM-100 표면분석장비 공간분해능 평가 SRC-100 SIMS, XPS, AES, EPMA 등 SRC-200 SRC-300 박막 두께 측정 나노 산화막 두께 측정 NTC-HfO2 XPS, Ellipsometry, XRR, MEIS 및 TEM 등 NTC-ZrO2 NTC-Al2O3 다층 박막 깊이 분포도 측정 MLF-100 SIMS, XPS, AES, SEM, TEM등 MLF-200 MLF-300 박막 조성 분석 합금 박막 정량 분석 SCA-PtNi SIMS, XPS, AES, XRF, EPMA, RBS 등 SCA-PtCo SCA-FeNi SCA-SiGe 특수 목적 박막 RBS 에너지 교정 RBS-100 RBS MEIS 에너지 교정 MEIS-100 MEIS MEIS 정량 분석 MEIS-200 MEIS, XPS, AES