제품소개

제품소개

  • 분류 표준물질 용도 모델명 보급시기 적용가능 측정/분석 기술
    측정 단위 교정   고배율단위교정 HMC-100 보급 중   SEM, AFM
      나노 단차 교정 NSC-100 2023년 하반기    AFM
    NSC-200 2024년 상반기
    장비 특성 평가   원자현미경 탐침 특성 평가 ATC-100 보급 중    AFM
    ATC-200
    ATC-300
    ATC-400
      주사탐침현미경 특성 평가 EFM-100    SCM, EFM, SSRM 등
    SCM-100
    SSRM-100
      표면분석장비 공간분해능 평가 SRC-100 2023년 하반기   SIMS, XPS, AES, EPMA 등
    SRC-200 2024년 상반기
    SRC-300 2024년 상반기
    박막 두께 측정   나노 산화막 두께 측정 NTC-HfO2 2023년 하반기   XPS, Ellipsometry, XRR, MEIS 및 TEM 등
    NTC-ZrO2 2024년 상반기
    NTC-Al2O3 2024년 상반기
      다층 박막 깊이 분포도 측정 MLF-100 2023년 하반기   SIMS, XPS, AES, SEM, TEM등
    MLF-200 2024년 상반기
    MLF-300 2024년 상반기
    박막 조성 분석   합금 박막 정량 분석 SCA-PtNi 2024년 상반기    SIMS, XPS, AES, XRF, EPMA, RBS 등
    SCA-PtCo 2024년 상반기
    SCA-FeNi 2024년 하반기
    SCA-SiGe 2024년 하반기
    특수 목적 박막   RBS 에너지 교정 RBS-100 보급 중    RBS
      MEIS 에너지 교정 MEIS-100    MEIS
      MEIS 정량 분석 MEIS-200 2024년 상반기    MEIS, XPS, AES